真空度要求极高，微小泄漏、油污染都会影响芯片良率

真空泵运行稳定性直接影响半导体工艺一致性，停机损失巨大

工艺气体、粉尘易进入泵体，造成磨损、腐蚀，维护难度大

设备价格昂贵，原厂维修响应慢、成本高，影响生产进度

针对半导体 / 电子行业，提供超高真空、低污染、高稳定性的真空系统方案 + 原厂级运维服务：

方案设计：根据工艺需求（镀膜、刻蚀、封装等），推荐干式螺杆泵 + 分子泵 / 罗茨泵真空机组，实现无油、低返油的超高真空环境

设备适配：提供半导体专用干式真空泵、分子泵，搭配冷阱、过滤器，防止工艺气体污染泵体；可选备用泵组，避免单泵故障停机

运维服务：原厂级技术团队提供设备保养、维修、校准服务，响应速度快，降低生产中断损失

核心真空泵：干式螺杆泵（爱德华、莱宝、阿特拉斯）、分子泵（普发、莱宝）、罗茨泵（爱德华、里其乐）

配套系统：冷阱、精密过滤器、真空计、真空阀门、真空机组

可选品牌：爱德华、莱宝、普发、阿特拉斯、里其乐

无油低污染真空环境，保障芯片 / 电子元件工艺良率

超高真空稳定供给，确保工艺一致性，提升产品质量

原厂级运维服务，快速响应故障，减少停机损失

定制化真空机组方案，适配不同半导体工艺需求